9月10-12日，安徽益科斯自动化设备有限公司将在SEMI-e深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展与大家面对面交流，展位号：13G20
安徽益科斯自动化设备有限公司
安徽益科斯自动化设备有限公司——是一家为泛半导体客户提供附属设备与腔体全方位解决方案的高新技术企业。成立于2017年5月18日，公司地址位于安徽芜湖，主要业务包括尾气处理设备及维保服务，真空泵、分子泵维保服务，工艺设备备件及半导体主机装机等全生命周期服务。
展品推介
等离子水洗式尾气处理设备
产品简介：Marathon系列等离子水洗式尾气处理产品M91A，具有独特的等离子气化和湿式减排系统，采用高能电子进行尾气的等离子化处理，能耗低，无需燃料即可实现工艺气体处理。且具有颗粒排水系统，旋流入口设计可最大程度地提高电离效率，单腔/双腔可选择，适用于所有类型的工艺气体 (PFCS,PTAS,GHG,TSA)。
燃烧水洗式尾气处理设备
产品简介：Marathon+系列燃烧水洗式尾气处理产品M91，采用先进的反应堆室设计和智能减排技术，可为苛刻的半导体和平板显示器生产过程中化学工艺提供可控的尾气气体调节环境。主要针对半导体制造中的气体流出物和平板显示工业的高颗粒负载工艺中的 PFC气体，是一个安全且经济有效的系统。
9月10-12日，安徽益科斯自动化设备有限公司将在SEMI-e深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展与大家面对面交流，展位号：13G20
参考资料：
SEMI-e
举办地区：广东
开闭馆时间：09:00-17:00
举办地址：深圳市宝安区福海街道和平社区展城路1号
展览面积：60000㎡
观众数量：50000
举办周期：1年1届
主办单位：中国国际光电博览会（CIOE中国光博会）、集成电路创新联盟
